香港科技大学(广州)微纳系统制造中央实验室/ Nanosystem Fabrication Facility(NFF)是校级大科学实验平台,旨在打造世界级全数字化微纳加工平台,拥有约1785㎡的千级及百级洁净室,引入先进设计理念及数字化、智能化的管理模式,配备国内外尖端微纳加工设备,支持三代半导体制程、8寸MEMS半自动产线,兼容小尺寸研究样品,涵盖制模、光刻、刻蚀、沉积、键合以及量测各个环节,有力支撑香港科技大学(广州)交叉学科微纳领域的教学和科研活动。同时,NFF也肩负对其他院校,企业的开放共享责任,为大湾区打造中国半导体产业第三极发挥积极作用。